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微电子实验室,周一早晨
张群按时来到实验室门口,发现门口围着的,就没有几个人了。
“今天怎么只有你们三个,其它同学,还来吗?”张群边开门,边跟几个学生打招呼。
“女生只来了你一个?”赵薇薇也有同样问题。
上周还一大群人,今天孤零零的,反差太大,让人挺不适应的。
“开课了!她们都回去上课了!”郝云丽让同学帮她请假了,破釜沉舟,她连课也不上了。
早晨下决心的时候,挺痛快,看着眼前这空荡荡的走廊,她也有些忐忑。
人生十八年,这还是第一次上课请假!
“你呢?男生这边是一个没来?还有你的那堆老乡呢?”赵薇薇又转向小师弟。
“这我哪知道?”成永兴耸了耸肩,一脸苦笑。
“走,进去吧!没有别人了。”
事情想的都挺好!到了跟前就出意外。
女排,童子军,都成了泡影。这种感觉,酸爽!
“版图带来了没有?”
“带来了。”赵师姐把已经准备好的软盘递了过去。
三只小猫,跟着张老师屁股后面,一步步的前进。
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张群跟后世,成永兴在实验室里见到的operator很像,各种设备玩得熟练异常。有他在,设备使用和操作,就都不是问题了。
但这个项目,对他而言,真正的目的,是敲开半导体产业的大门。这是个绝佳的练手机会。将来有些事情,他只能亲自操作,无法假手于人。
换句话说,什么时候他能够真正出师,这个项目,才什么时候结束!
前段时间,跟着赵师姐一起上机,他算是把这个时代的软件,摸索了一遍,现在轮到重头戏,流片!
“张老师,这次让我来操作吧。”张群刚刚从柜里取出晶圆,成永兴就在旁边提议。
“你?行吗?”
“不行,也得行啊!后面还有好几个呢,也不能总指望老师你啊!而且,我自己会用了,晚上加个班啥的,也方便不是?”
成永兴表现出一副认真好学的样子。
“要不,我来?”赵薇薇对只有两天培训经验的师弟,还是有些不放心。
“没事!咱们三个,就我一个男人,我不上谁上?”成永兴满不在乎,大大咧咧地把师姐推到了一旁。
两个女孩子,只能相对一笑。男人?就他最小!
“等一下,你拿错溶剂了!”赵薇薇赶紧在旁边提醒。
“是吗?”成永兴看了一眼笔记,这段没有写清,于是赶紧退回去,把内容补上。
“咱们几个一起看吧!”郝云丽也拿着个笔记本,走了过来。
“行,这是第一次操作,我们一起加小心!第一遍我来,第二遍,你来。”
如果时间允许,成永兴的这些免费劳动力,也都应该走一遍。
流片的过程,没有什么好说的,每个步骤都是有章可循。只要按部就班的操作,很快就会熟能生巧了。
就这样,在磕磕绊绊之中,三个人就在张老师的指导下,团团转了起来。
经过了两天的训练,慢慢的,生疏感渐去,胆子也慢慢大了起来。
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流片的程序已经标准化了,就是步骤繁琐。至于工作强度,还真就不大。只不过这是第一次做,大家有些精神紧张罢了。
很快的,一组人就来到了光刻机面前。
“你这是啥图案啊?”首次看到版图,这跟郝云丽理解的不太一样。
按理不论是加速度传感器,还是陀螺仪,花纹都应该是满复杂的。
“第一次画图,流片,总要预演一下,练练手嘛!”
“今天的操作只是练手?”郝云丽也没有多想。听了同学的话。信以为真,心情也就轻松了下来。
成永兴带来的是一个悬臂梁式的压力传感器,方案很简单,对工艺的要求也不高,很适合实验室的现状。作为入门级的练手之作,再适合不过了。
但从另一方面来说,
这个悬臂梁式结构,虽然简单,但在后世,也算是鼎鼎大名。
这种结构,就像一个万金油,它的应用范围极广。这种结构,可以测量压力,温度,磁场,加速度等多种变量。
简单的造型后面,可以引申出来的论文,以百为单位,以千为单位!
“不过,这些图案,有些奇怪啊,怎么好像相同,但又有点不一样?”女孩子的眼睛还是很尖的。
“我同时画了几种不同尺寸的造型出来。等做出来以后,实际测量一下,为之后的设计,打基础。”
一般来说,图纸里的各种结构尺寸,都是设计人员精心设计的结果。各中应力变形,甚至可以在软件里模拟出来,只要三维结构一形成,各种受力分布,变形预期,甚至电流强度,温度分布,都一目了然。
在现在这个阶段,关于半导体材料强度等材料及力学,相关指标,非常的少,这是第一方面。第二个方面,大量的力学,材料学的推导,在没有计算机软件辅助的情况下,变成了海量的计算工作量。
如果这些工作,全部手工完成,再给他一年,也未必有机会定稿。成永兴既没有那个能力去推导,也没有那个耐心去翻资料。